2016年12月3日，由中國計量測試學(xué)會組織的西安交通大學(xué) “納米臺階高度樣板的裝備、比對和溯源及相關(guān)理論與技術(shù)的研究”科技成果鑒定會圓滿結(jié)束。
此次鑒定會在西安交通大學(xué)機械工程學(xué)院進行。同濟大學(xué)李同保院士、中國計量科學(xué)研究院高思田研究員、國家納米科學(xué)中心納米標(biāo)準(zhǔn)研究室葛廣路研究員、陜西省計量科學(xué)研究院秦宇副院長、北京理工大學(xué)趙維謙教授、天津大學(xué)胡曉東教授和浙江理工大學(xué)陳本永教授作為鑒定專家參與了該項目的鑒定工作。
鑒定會由李同保院士主持。在鑒定會上，鑒定委員會聽取了蔣莊德院士所作的項目總體報告，包括項目研究背景與意義、技術(shù)路線與研究內(nèi)容、主要技術(shù)指標(biāo)與技術(shù)比對、項目研究創(chuàng)新點和技術(shù)應(yīng)用實例；課題組楊樹明教授作的應(yīng)用、檢測和查新報告。隨后專家組審查了項目鑒定資料，并對西安交通大學(xué)的進行了現(xiàn)場考察。隨后，鑒定專家與西安交通大學(xué)課題組開展了熱烈地質(zhì)詢討論。
經(jīng)過全體評審專家認(rèn)真評審，一致認(rèn)為：該項研究總體技術(shù)水平達到國際先進水平，其中在基于ALD的納米臺階高度樣板制備方面達到了國際領(lǐng)先。成果滿足納米幾何量測量需求。鑒定委員會同意通過鑒定。建議盡快納入國家納米計量標(biāo)準(zhǔn)體系。
